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SG-O 是一款 CIS /ALS / Light-Sensor 晶圆测试仪，它结合了高度均匀的光源和半自动晶圆探测器。高度均匀光源可以提供从 400nm 到 1700nm 的连续白光光谱，以及在许多不同波长下具有一定 FWHM 的单色光输出。探测器可以处理。200mm 晶圆尺寸和尺寸大于 1cm x 1cm 的单芯片。SG-O 集成了超低噪音热卡盘，可提供 -60°C 至 180°C 的温度范围，具有快速的升温速度和稳定性。SG-O 提供您在 CIS / ALS / 光传感器设计验证或工艺良率检查中所需的一切。
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SG-O CIS / ALS / Light-Sensor 测试仪（晶圆级）系统图。高度均匀的光源由 PC-1 控制。光输出由光纤引导到光学均化器以产生均匀的光束。显微镜和均质器由 PC-1 的自动平移台控制，以切换位置和功能。Prober 系统为 MPI TS2000，由 PC-2 控制。卡盘台的位置也由 PC-2 控制。热卡盘温度可控制在 -55 ℃ 至180 ℃ ，涵盖了大部分 IC 测试温度范围。光强度由一个 Si 光电探测器和一个 InGaAs 光电探测器通过皮安电流表检测和校准。
SG-O 为您在 CIS / ALS / 光传感器晶圆测试中需要的所有内容提供完整的规范。以下是主要组件及其详细信息。如果您需要更多详细信息，请随时与我们联系！
SG-O 集成了 Enlitech 的高级光模拟器技术和 MPI 自动探针系统。Enlitech 提供多种光学选项以满足用户对 CIS / ALS / 光传感器晶圆测试的要求，包括波长范围、光强度和均匀光束尺寸。我们拥有数十年的经验，可以帮助客户解决 CIS / ALS / 光传感器晶圆测试和设计变化的挑战。请随时与我们联系以获取更多详细信息。我们的专业团队将为您提供帮助！
SG-O 系统的操作软件。对于高度均匀光源控制软件，SG-O 提供光源系统控制和光强测量。提供了各个光学组件的 Labview 功能调色板、驱动程序 / DLL 文件。该软件控制所述平移台以促进照射大是在零件的设备。集成链接的整合包括发送 / 接收命令，例如芯片步进、芯片对齐 / 探测等。
来自 SG-O 显微镜系统的 CIS / ALS / 光传感器芯片图像
CIS / ALS / Light-Sensor 晶圆的探针卡安装图
用于 CIS / ALS / 光传感器晶圆检测的探针头图像
SG-O CIS 晶圆级测试仪的光均化器
SG-O CIS 晶圆级测试仪光均化器的光学模拟和性能
光束均匀度，在 420nm 下用 42mm x 25mm 测试光束点均匀性，不均匀度为 1% 图示
光束均匀度，束斑尺寸为 50mm x 50mm，不均匀性为 1.43% 图示
不同波长的单色光强度，从紫外到近红外；光强度由Si辐照度计测量，光强度范围能够用于各种 CIS / ALS / 光传感器测试图示
从 NIR 到 SWIR 不同波长的单色光强度，光强度由 InGaAs 辐照度计测量图示
SG-O 的高度均匀光源具有一个超稳定的光引擎，在整个波长范围内，短期或长期的光强不稳定性均优于 0.2%。
图示在 420nm 单色光输出下测试光强度短期不稳定性，光不稳定性由 Si 辐照度计监测 60 分钟，1 小时的不稳定性为 0.12%
图示在 1250nm 单色光输出下测试光强短期不稳定性, 光不稳定性由 SInGaAs 辐照度计监测 60 分钟，1 小时的不稳定性为 0.09%
在 420nm 单色光输出下测试光强度短期不稳定性，光不稳定性由 Si 辐照度计监测 10 小时，10 小时的不稳定性为 0.1% 图示
在 1250nm 单色光输出下测试光强短期不稳定性，光不稳定性由 SInGaAs 辐照度计监测 10 小时，10 小时不稳定性为 0.06% 图示
图示为 SG-O 系统的光强衰减器，光输出强度可以通过 PC 至少 1000 步分辨率来控制
自动探测器的情况说明书，SG-O CIS / ALS / Light-Sensor 晶圆测试仪集成了 MPI 探针，更多细节可以在 MPI 的网站上找到
数据源： MPI
SG-O 探针系统中内置了自动单芯片装载机。便于CIS / ALS / Light-Sensor 晶圆装载。装载和卸除晶圆对用户来说是直接和直观的。上料室前部还集成了温度控制面板，方便操作。
SG-O CIS / ALS / Light-Sensor 晶圆测试仪还具有手动加载功能，可以从前门手动加载晶圆。该前门具有安全管理功能，可自动监测卡盘温度并防止在测试过程中打开门，以保护 CIS / ALS / Light-Sensor 晶圆和用户的安全。
探针卡尺寸能力可以从 4.5 英寸到 8 英寸长，如图所示 DUT 与 SG-O 高均匀光源最后一个光学组件的工作距离超过 200mm
探针卡尺寸能力可以从 4.5 英寸到 8 英寸长，如图所示 DUT 与 SG-O 高均匀光源最后一个光学组件的工作距离超过 200mm
